Minienvironments sind bislang vordergründig aus dem Frontend der Halbleiterindustrie bekannt. Mit der Einführung der 300 mm – Technologien ist die Forderung nach einem integrierten Minienvironment in Richtlinien festgeschrieben worden. Diese Entwicklung wird nun mehr und mehr auch in andere Technologien und Branchen übertragen.
Das Back-End der Halbleitertechnologie ist derzeit auf dem Weg, hohe Reinheitsanforderungen für die dort stattfindenden Prozesse im Innern der Maschinen zu realisieren. Oftmals sind es Nachrüstungen, die zwar keine perfekten Lösungen darstellen, doch sehr gute Ergebnisse erzielen. Über die Art der Realisierung und die Ergebnisse und Schlussfolgerungen wird in diesem Vortrag berichtet.
